Dr. Thomas Beringer

Betreuung von TSMC R&D und Produktion in Fragen bzgl. ASML's EUV Light Source

A) Leitung eines Teams aus 15+ Mitarbeitern aus den Bereichen Optik, Elektronik, Software und FPGA Entwicklung, Controls sowie Wissenschaftlern B) Projekte umfassten: Rapid Prototyping optischer Metrologie, Hochgeschwindigkeits Bildaufnahme und Auswertung, Optimierung des SW und FPGA Designs, PLC Steuerung, SW für Hardware Prototypen, sowie experimentelle Kampagnen C) Regelmäßige Reports, Stakeholder Alignment und Roadmaps D) ASML Project Management Zertifizierung (vergleichbar mit PMP)

A) Steuern technischer Entscheidungen des Projekts, Setzen von Team-Prioritäten und Anleiten von Entwicklungsingenieuren B) Design eines für Kunden repräsentativen α-Tests um die Fokus Performance des NXE3400 Scanners zu bestimmen C) Analysen zum vollständigen Verständnis (build-up und breakdown) der Fokus-Performance des NXE3350 Scanners, interne Diskussion der Resultate und Zusammenfassung für Kunden D) Ermittlung von Sensor-Verschmutzung als Ursache für erhebliche Fokus-Drifts bei Kunden

A) Überprüfen und Anleiten der Arbeit von 2 Entwicklungsingenieuren B) Demonstration eines neuen Konzepts zur Korrektur des 3D Profils von EUV-Photomasken C) Neu-Erstellung und Betreuung des Masterthesis Projekts eines Studenten (nun bei ASML) D) Als Competence Lead der beiden Fokus-Gruppen: Leitung regelmäßiger Meetings, Erstellung von Roadmaps, Förderung der Zusammenarbeit und Evaluierung des Fortschritts

A) Untersuchung von Fokusdaten um Fehlerursachen des Systems zu identifizieren B) Volle technische Verantwortung am Design der Fokus-Marker auf neuer Photomaske welche die Kompatibilität mit künftigen Sensoren sichert und die Messmethode verbessert C) Überarbeitung von Kalibrationstests zur Erhöhung ihrer Effizienz

Ich habe ein Verfahren entwickelt, das Graphen als Sensor verwendet um das 2DEG an der LAO/STO Grenzfläche zu untersuchen. Dieser Sensor detektiert elektrostatische Änderungen in der Fermi-Energie des 2DEGs, das sich wenige Einheitszellen unter dem Sensor befindet. Dabei bestätigten sich theoretische Vorhersagen über Vielteilcheneffekte. Diese Messmethode kann auf die Untersuchung einer Vielzahl interessanter Materialien angewendet werden.

Advisor: Prof. Hartmut Buhmann

Advisor: Prof. Dr. Klaus von Klitzing

Advisor: Prof. Bruce McCombe Festkörperphysik

Festkörperphysik