Automatisch arbeitende Partikelmonitoringsysteme
Das Partikelmonitoring ist eine wichtige Aufgabe in der Reinraumtechnik. Sowohl die kontinuierliche als auch die diskontinuierliche (manuelle) Überprüfung der Luftreinheit leisten einen wichtigen Beitrag zur Qualitätssicherung im Reinraum.
Dieser Artikel thematisiert die automatisch arbeitenden Monitoringsysteme mit einer unterschiedlichen Anzahl von Partikelzählern. Diese basieren heute auf unterschiedlichen Plattformen, welche nachfolgend vorgestellt werden. Neben den Kernkomponenten eines Partikelmonitoringsystems und deren Anforderungen wird auch das Problem der Auswahl von repräsentativen Probenahmestellen behandelt. Im Anschluss widmet sich der Autor Thomas von Kahlden der Frage, was bei der Auswertung der resultierenden Daten zu beachten ist.
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