Halbleiter-Forschung in Dresden
Neues Center des Fraunhofer IPMS
Mit der Einrichtung des Centers for Advanced CMOS & Heterointegration Saxony bündeln das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS sowie der Institutsteil All Silicon System Integration Dresden (ASSID) des Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM ihre Kompetenzen in der Halbleiter-Forschung. Sie bieten künftig die komplette Wertschöpfungskette in der 300-mm-Mikroelektronik und damit die Voraussetzungen für Hightech-Forschung in Zukunftstechnologien mit internationaler Reichweite. Der 300-mm-Wafer-Industriestandard ist dabei entscheidend, denn nur so kann einerseits ein schneller Transfer von Forschungsergebnissen in die Halbleiter-Industrie Sachsens, bundesweit und auch weltweit gewährleistet werden. Andererseits ist dieser Wafer-Standard Grundvoraussetzung, um im frontendnahen Sub-100-nm-Bereich überhaupt an neuen Technologieentwicklungen erfolgreich mitwirken zu können. Das Center bietet Kunden die Möglichkeit, neue Fertigungsprozesse zu entwickeln und zu testen, da die stringenten Arbeitsabläufe in Hochvolumenfabriken wie z. B. Infineon, Globalfoundries oder Bosch für solche Testphasen kaum Freiraum bieten.
https://www.ecv.de/beitrag/cleanroom-and-processes/Halbleiter-Forschung_in_Dresden