Kondensationspartikelzähler
Particle Measuring Systems (PMS) hat den NanoAir™ Kondensationspartikelzähler (CPC) entwickelt, um die kritischsten Fertigungsbereiche zu überwachen. Der NanoAir bietet die Empfindlichkeit eines CPC und die Benutzerfreundlichkeit eines herkömmlichen Partikelzählers, mit einer Nachweisempfindlichkeit von 10 nm und einem Probendurchsatz von 2,8 l/min. Er ist 83 % kleiner als vergleichbare Produkte, was seinen Einsatz in ultrareinen Umgebungen erleichtert. Das patentierte System zur Handhabung von Arbeitsflüssigkeiten ermöglicht einen wartungsfreien Dauerbetrieb. Das Gerät kann an 365 Tagen 24/7 operieren, ohne dass ein Eingriff durch den Nutzer erforderlich ist. Der ParticleSeeker™ ergänzt den NanoAir mit 10 Anschlüssen für die Überwachung mehrerer Probenstellen. Der NanoAir ist hochdruckgaskompatibel und die Daten können über PMS Facility Net oder direkt an SCADA-Systeme übertragen werden.