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neoplas control GmbH

Höchste Präzision mit Mess- und Steuersystemen für Gase und Plasmen

Impressum

Technologie

Die Laserabsorptionsspektrometer der Firma neoplas control nutzen die Eigenschaft von chemischen Verbindungen, elektromagnetische Strahlung bestimmter Wellenlängen zu absorbieren. Dazu wird das Laserlicht in das zu messende gasförmige Medium eingekoppelt. Entsprechend der anschließend detektierten Stärke und Position der Absorption können die Art und Konzentration der vorhandenen Stoffe hochpräzise und schnell bestimmt werden.

Quantenkaskadenlaser (QCL) können bei Raumtemperatur betrieben werden und erlauben damit die Konstruktion von kompakten, robusten Geräten für den industriellen Einsatz. Der QCL ist eine schmalbandige Strahlungsquelle im mittleren Infrarotbereich (3-20 µm). Dieser spektrale Bereich hat einen großen Vorteil gegenüber dem nahen Infrarotbereich, weil einige chemische Spezies ausschließlich dort sowie viel stärker absorbieren. Dadurch können geringste Stoffkonzentrationen bis zu parts per trillion (ppt) gemessen werden.

Messbare Stoffe

Generell kann mit einem Laser jeweils eine ausgewählte chemische Spezies gemessen werden. Wenn jedoch zwei relevante Molekülarten über geeignete nahe beieinander liegende Absorptionslinien verfügen, können beide mit einem Laser gemessen werden. Die simultane Detektion von weiteren Spezies wird durch den Einsatz von mehreren Lasern an verschiedenen spektralen Positionen ermöglicht.

Vorteile

· hohe Selektivität durch Identifikation eindeutiger Absorptionslinien der chem. Spezies

· sehr hohe Nachweisempfindlichkeiten bis zu parts per trillion (ppt)

· schnelle Messergebnisse durch hohe Zeitauflösung bis in den Nanosekundenbereich

· selbstkalibrierend durch permanente Messung von eingestrahltem und transmittiertem Laserlicht

· einfache Handhabung, da Laser und Detektoren keine LN2-Kühlung benötigen

· keine Beeinflussung/Verfälschung des gemessenen Mediums

· simultane Messung mehrerer Moleküle durch den Einsatz mehrerer Laser

Produktfamilien und typische Anwendungen

· Q-MACS Process

· Prozessanalyse und -steuerung

· in-situ-Messung in der Prozessumgebung

· Einkopplung des Laserlichts über offene Strahlführung oder Lichtleiterkabel

· Plasmaätzprozesse (z.B. Halbleiter- und Photovoltaikindustrie, Oberflächenbehandlung)

· Sinterprozesse (z.B. Steuerung von Industrieöfen)

· Q-MACS Trace

· Spurengasanalyse

· ex-situ-Messung in Langwegzelle

· Einspeisung einer Messgasprobe in die Langwegmesszelle

· Reinheitsbestimmung (z.B. chemische Industrie)

· Rauchgasmessung (z.B. Müllverbrennung, Metallerzeugung, Kraftwerke)

· Diagnostik in der Medizin (z.B. Atemgasanalyse)

· Sprengstoffdetektion