Dr. Marco Kipping

- Projektleitung im Bereich Produktoptimierung, Erweiterung von Produktionskapazitäten, Prozess- und Knowhow-Transfer an den Fertigungsstandort in den USA - Prozessverantwortung und Optimierung Hochtemperaturprozesse

- Evaluation und Optimierung neuartiger Produktionsanlagen und -prozesse - Planung und Umsetzung von Bestellprozessen und Abnahmeprozeduren für neue Anlagen zur Pilotfertigung - Pilotfertigung, Qualifikation und Transfer von Pilotprozessen unter Berücksichtigung von Quality Gate Anforderungen - Markt- und Verfahrensanalyse, Benchmarks zur Produktentwicklung - Anleitung und Betreuung von Praktikanten

Vorfeldentwicklung und Integration von Kondensatormaterialien für DRAM Anwendungen

Prozessentwicklung high aspect ratio Silizium Plasmaätzen, Untersuchung von Plasmaprozessen mit verschiedenen Plasmadiagnostiktechniken und Randschichtsimulationen, Test und Umsetzung des neuartigen Diagnostikverfahren QCLAS zur Prozesskontrolle und -steuerung, Dissertation: "Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr+NF3 gas discharges" (eingereicht 01/2009)

Betreuung BMBF-Förderprojekt "Ultradünne Diffusionsbarrieren für die <0,15µm-Technologie", Dünnschichtcharakterisierung, Waferpräparation

Untersuchung und Optimierung von Ta-basierten Diffusionsbarrieren für die Kupfertechnologie, elektrische Messungen, Prozesstechnologie, Dünnschichtcharakterisierung, Waferpräparation

Mitarbeit am „Intel Account Copper Barrier Seed Ironman Program“, Installation und Qualifikation einer „300mm-PVD-Endura Copper Barrier Seed“ Anlage für Intel

Mikroelektronik