Dr. Matthias Markert
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Fähigkeiten und Kenntnisse
Werdegang
Berufserfahrung von Matthias Markert
- Bis heute 11 Jahre und 10 Monate, seit Juli 2013
Project Manager Technology Development
Infineon Technologies Dresden
- 6 Monate, Jan. 2010 - Juni 2010
Scientific Staff Engineer
Center for Microelectronics / Chemnitz University, Fraunhofer ENAS
- 2003 - 2009
Staff Engineer, Projektleiter, Fachberater
QIMONDA Dresden GmbH & Co. OHG
Entwicklungs-Ingenieur für Plasmaätzprozesse, F+E Projektleiter, F örderprojektleiter; Entwicklung, Charakterisierung und Optimierung unterschiedlichster Plasmaätzprozesse (für z.B. Si, Poly, Oxid, Nitrid, Carbon, Metal, Resist) für die DRAM/FLASH Speicher Herstellung auf 200 / 300 mm Halbleiter-Equipment; verantwortlich als interner Projektleiter für die Ätzprozessentwicklung zukunftsweisender FLASH Technologie-Generationen (110/90/70/60/48/36 nm); Entwicklung von Double Patterning Konzepten
- 2000 - 2003
Senior Engineer
Infineon Dresden GmbH & Co. OHG
Entwicklungsingenieur für Plasmaätzprozesse; Entwicklung, Charakterisierung und Optimierung der BEOL Plasmaätzprozesse für die 110 nm Cu Logik Technologie
- 1995 - 2000
Wissenschaftlicher Mitarbeiter
TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien
Entwicklung von Plasmaätzprozessen für Kupfer- Metallisierungssysteme; Mitarbeit bei der Entwicklung von low-k Materialien und Cu-Barrieren für das Cu-BEOL; Entwicklung von Technologien für die Oberflächenmikromechanik
Ausbildung von Matthias Markert
- 1995 - 2000
Zentrum für Mikrotechnologien
Technische Universität Chemnitz
Thema der Dissertation: „Entwicklung eines Trockenätzprozesses zur Strukturierung von Kupfermetallisierungssystemen“
- 1989 - 1995
Elektrotechnik/Elektronik
Technische Universität Chemnitz
Schwerpunkte: Halbleiterphysik, Halbleitermesstechnik, Bauelemente-Elektronik, Halbleiter-Technologie, Mikrosystemtechnik, Optoelektronik; Thema der Diplomarbeit: "Entwicklung einer Technologie zur Erzeugung von freitragender Si-Strukturen mittels Trockenätzprozessen für die Mikromechanik"
Sprachen
Deutsch
Muttersprache
Englisch
Fließend
Russisch
Grundlagen
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