Dipl.-Ing. Pei Chen

• Betreuung der Produktion während der Entwicklung von Device Power Supply Messkarten für Halbleiterbauelemente in der Automobilindustrie • Analyse und Qualifizierung von Musterständen aus den beauftragten Manufakturen, Bewertung von Fehlerbildern aus der Produktion • Koordinierung von Cross Funktion Team hinsichtlich der Qualitätsverbesserung • Entwicklung von Testinstrumenten und Testbeschreibungen für die Durchführung von Funktions- und Verifikationstests der Messkarten

• Untersuchung zum Power/ Voltage Modus bei Ätzanlagen • Einfluss der induktiven Leistungseinkopplung auf die Beschleunigungsspannung bei Verwendung unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung des Plasmagases • Bestimmung der Streuung der Ätzrate (wafer to wafer) in Abhängigkeit der verwendeten Modi • Bestimmung des Kammermatching Verhaltens zwischen den unterschiedlichen Modi • Erarbeitung eines Regelwerkes zur Anwendung der beiden Modi

• Identifizierung der elektrischen Bauteile einer Zündspule und Analyse des Aufbaus eines Zünd-IGBTs • Betrachtung der Einflüsse auf den Kollektor-Emitter-Widerstand eines IGBTs • Bestimmung dieser Einflüsse beim Messeinsatz zur Bestimmung des Kollektorstromes • Planung und Durchführung von Labortest zur Verifizierung der Überlegungen • Entwicklung einer Gleichung zur Messwertkorrektur bei der Bestimmung des Kollektorstromes

• Einarbeitung und Experimente zur optischen und interferometrischen Endpunkterkennung von Plasmaätzprozessen mittels Multispektral-Analysegeräten • Auswertung und Analyse der Endpunktdaten mittels verschiedener Software und Programmalgorithmen, insbesondere der Herstellersoftware zweier Anlagenhersteller • Vertiefte Analyse der Daten durch selbst programmierte Makros in Matlab und Simulink

Mikroelektronik

Mikroelektronik