Dr. Annette Sänger

Prozessingenieur im Bereich CVD / fixed - term bei Bosch GmbH, Reutlingen Schichtcharakterisierung / Messgerätevergleich / Mitarbeit am Lastenheft für eine ALD Anlage

Ablösung epitaktisch gewachsener Siliziumwafer vom Substrat zur Herstellung von Solarzellen. • Material- und Qualitätsthemen: Chemikalien- und Waferspezifikationen / Kontrollpläne / IP Reviews • Oberflächenbehandlung / Grinding und -charakterisierung • Koordination von Auftragsarbeiten und Maschinenbeschaffung

Transfer von R&D Ergebnissen in die (Prototypen) Fertigung im Rolle-zu-Rolle Verfahren. Versuchsplanung und Auswertung

Prozessentwicklung Elektroplating - Kupfer Plating mit Schwerpunkt Full Face Plating auf 300mm Silizium Substrat - Charakterisierung (Widerstand, Schichtdicke, Rauheit,..) - Optimierung hins. technologischer Anforderungen und Ressourcen -Lastenhefterstellung und Anlagenauswahl - Prozessseitige Inbetriebnahme von Fertigungsanlagen -CIP

Einzelprozessentwicklung Elektroplating für Leistungshalbleiter - Entwicklung und Optimierung der Platingprozesse incl. Badanalytik - GaN, SiC, Si Substrate -Full face und Pattern Plating -6", 8" und 12" Wafer -Lastenhefterstellung, Anlagenauswahl -FMEA, SPC, DoE, Troubleshooting, 8D

Senior Chemist in multinationaler Start-up Atmosphäre. Anwendung von metallischen Nanopartikeln in der Photovoltaik: - Optimierung der Feststoffzusammensetzung NP/Additive zur Metallisierung von Si-Solarzellen: - Versuchsplanung und Herstellung von Prototypen bei externen Partnern (für rückseitenpassivierte Zellen) - Laboraufbau und -einrichtung: Kontrolle des Generalunternehmers, Auswahl von Messinstrumenten, Arbeitsorganisation - Elektroplating - Strukturierung/Ätzen

Chemical Specialist in der Cell Technology Development Group. Verbesserung der bestehenden Prozesse Saure Textur, PSG Entfernung, Pre- und Postcleans in inline-tools. Entwicklung von chemischen Lösungen für neue Zellkonzepte wie Selective Emitter, Rearside Passivation. Erstellung von Versuchsplänen und Durchführung in Produktionsumgebung, Labormaßstab oder mit externen Partnern (Solar Energy Research Institute der NUS)

Prozessingenieur Chemie. Betreuung und Verbesserung chemischer Prozesse in der Solarzellenherstellung: Reinigung, Oberflächentexturierung, PSG Entfernung. Evaluierung neuer Anlagen und Hook-up, Fab ramp-up. Einführung neuer Chemikalien, Erarbeitung von Chemikalienspezifikationen

Prozess-Integration: Evaluierung alternativer Kondensatormaterialien (Metallelektroden und high-k Dielektrika) für sub 100 nm DRAM Generationen. Strukturelle und elektrische Bewertung der Materialien. Risikoabschätzung mittels FMEA Verfahren

Prozess-Entwicklung: ALD von Metallen und Dielektrika, insbes. WN, TiN, Al2O3 in Zusammenarbeit mit den Fachexperten Entwicklung und Integration alternativer Kondensatormaterialien. Strukturelle und elektrische Bewertung der Materialien.

Prozess-Entwicklung und verantwortlicher Ingenieur für Anlagenbetreuung und Inbetriebnahme. Elektroplating (Kupfer). CMP zur Strukturierung und Planarisierung von Edelmetallen und - oxiden, SiO2, Si3N4. Aktives Mitglied der CMP Usergroup des VDI.

Prozessingenieur: Entwicklung und Verbesserung von Prozessen der Siliziumtechnologie. Anlagenbetreuung und Inbetriebnahme. - Elektroplating (Kupfer) - CMP zur Strukturierung und Planarisierung von Edelmetallen und - oxiden, SiO2, Si3N4 - CMP zur Dünnung von c-Si Scheiben - Nasschemische Ätzung von c-Si (Dünnen)

Wissenschaftliche Mitarbeiterin: Betreuung von Studenten und Diplomanden bei theoretischen und praktischen Übungen. Organisation und Durchführung von Seminaren und Prüfungen

Studentische Hilfskraft in den Bereichen - Lehrstuhl Physikalische Chemie I - Lehrstuhl Technische Chemie II - Universitätbibliothek

Elektrochemie fester Stoffe

Fachrichtung Physikalische Chemie (Elektrochemie)