Carine Tchamebong

• Entwicklung und Optimierung von Silizium Carbid-Plasma-Ätzprozessen in der Serienfertigung • Durchführung von DOE (Design of Experiments) zur nachhaltigen Prozessverbesserung • Verantwortung für Einzelprozesse im Bereich Ätzen • Betreuung von Ätzanlagen und Prozessmodulen sowie Definition, Pflege und kontinuierliche Optimierung der Prozessrezepte zur Gewährleistung einer stabilen Prozessführung

• Selbständige Planung / Umsetzung der Inbetriebnahme und Einrichtungen von Anlagen und Maschinen • Koordination und Begleitung von Abnahmeläufen bis zur Endabnahme • Erstellung von Prozess und Ablaufbeschreibungen • Umsetzung notwendigen Maßnahmen zur Erreichung der Prozessspezifikation/ Leistungsparameter

• Inbetriebnahme und Qualifikation von neuen Anlagen durch selbständiges Umsetzen von Experimenten (MAE-Freigabe) • Qualitätssicherung der Produktionsprozesse; Analyse von Anlagen und Prozessfehlern sowie Erarbeitung entsprechender Korrekturmaßnahmen; Unterstützung bei Prozessfreigaben und Projekten • Evaluation von Messverfahren für die Prozessfreigabe • Rezepte an Messgeräte optimieren (AFM und Schichtdicke)

• Durchführung der Ätzrate zur Kontrolle der Selektivität und Uniformität von Schichten für neue Prozesse • Untersuchung der Wechselwirkung von Rezept durch die Variation von Parametern (Druck, Spannung, Gas) • Auswertung der Ergebnisse mit CEDA und Optimierung des Rezepts • Kontrolle der Prozesskammer der Prüfanlage mit Messgeräten

• Durchführung von Kontaminationsversuchen und Ermittlung der Defektdichte mit Hilfe einer blanken Si-scheibe • Prozessieren der Vapor Phase Decomposition zum Erhalt der Metallkontaminationen • Analyse der fault detection and classification Parameter und der optischen Emission Spektren

• Erstellen des Ätzrezepts mit unterschiedlichen Recipe-steps und verschiedene Prozessparameter (Argon-Fluss und Leistung) • Prozessieren eines Si-Wafers und Aufnahme des Ar-Spektrums je Prozessmodule • Einfluss einzelner Prozessparameter (Leistung, Gas und Druck) auf Ätzrate und Uniformität

Schwerpunkte: Mikroelektronik, Mikromechanik, Analoge- und Digitaltechnik, Messtechnik