Ing. Finn-Merlin Deckert

Prozessentwicklung mit dem Schwerpunkt auf elektrochemische und chemische Abscheideverfahren sowie Inkjet-Printing an der Schnittstelle Wafer-Levelfertigung Aufbau- und Verbindungstechnik.

Prozessentwicklung Mikrosysteme und Nanatechnolgie

Schwerpunkt meiner Arbeitarbeit war die Weiterentwicklung eines Herstellungsverfahrens für weichmagnetische Funktionsschichten aus NiFeMo. Im Vordergrund stand die Inbetriebnahme einer Galvanikanlage, das Finden geeingeter Prozessparameter für die angestrebte Legierungszusammensetzung und die Charakterisierung der Legierung. Charakterisiert wurde die elementare Zusammensetzung, die Korngrößenverteilung, die Kristallstruktur, das Oberflächenprofil und die magnetischen Eigenschaften.

Prozessentwicklung und Prozessoptimierung einer elektrochemisch abgeschiedenen ternären NiFeMo-Legierung im Labormaßstab, sowie die materialwissenschatliche Charakterisierung der Legierung.

Elektrochemie, Ferromagnetimus, Materialwissenschaft