Matthias Voigt

- develop strategies for new Lithography processes and hardware - identify potentials and solutions for logic and power technology requirements - project management, continuous improvement, OEE - technical contact for various suppliers such as Tokyo Electron, DNS, SUESS, Entegris, PALL, ... - planning and supervising of tool start up and tool acceptance - knowledge exchange within Infineon Front End of Line Cluster - training of technicians

quality assurance for lithography. process optimization in terms of stability, costs and throughput (OEE,Lean Manufacturing). interdisciplinary project management. in-house training of technicians.

Verantwortlich für die Qualifikation und Inbetriebnahme von Lithographie-Anlagen. Optimierung von lithographischen Prozessen hinsichtlich Durchsatz, Ausbeute und Prozessstabilität.

Thema: "Litho-Prozessentwicklung für PowerCu-Plating auf der C11HV Technologie bei Infineon Dresden..."

-Projektleitung in allen Projektphasen -Wirtschaftlichkeitsberechnungen -Budgetermittlung -Prüfung von Planungen und technische Klärung mit Planern, Kunden und Partnern -Angebotserstellung und Angebotsbearbeitung -Materialdisposition einschließlich Terminüberwachung -Unterstützung der Projektleitung sowie Überwachung und Kostenverfolgung während der Abwicklung -Rechnungsprüfung, Aufmaß- und Nachtragserstellung -Koordination der Mängelbeseitigung -Dokumentationserstellung

Lithography Department Qimonda AG • Responsible for tool monitoring and defect density control • Responsible for Immersion related topics especially defect density and Track processes • Head of cost saving project

Production Department Lithography Infineon Technologies 300mm • Responsible for evaluations of new Track Hardware and processes with special focus integrated metrology applications and defect density reduction • Taking over organizational tasks and supplier contacts

Unit Process Development Lithography in the Memory Development Center (MDC) • Responsible for evaluation and introdution into production of new Lithography applications such as integrated metrology (iODP) • Responsible for internal TEL Clean Track training courses in Lithography department