Dr. Norbert Böwering

Selbstständig, Senior Technical Consultant, BökoTech
Bielefeld, Germany

Fähigkeiten und Kenntnisse

Erfahrung mit EUV Optiken
Halbleitertechnologie
Lithografie
EUV Metrologie und Spektroskopie
Projektmanagement
EUV Multilayer Beschichtungen
Nanotechnologie
Nanostrukturierung
CO2 und Excimer Laser
Laserphysik
Messtechnik
Oberflächenphysik
Plasmaphysik
Spektroskopie
Düsenstrahlexpansionen
Nutzung von Synchrotronstrahlung
Photonik
Optoelektronik
Elektronenstreuung

Werdegang

Berufserfahrung von Norbert Böwering

  • Current 9 years and 1 month, since May 2017

    Senior Technical Consultant

    BökoTech

  • 4 months, Feb 2017 - May 2017

    Technischer Experte

    FERCHAU Engineering GmbH
  • 1 year and 2 months, Jan 2016 - Feb 2017

    Senior Technical Consultant

    BökoTech, Bielefeld

    Development and consultation for semiconductor industry: Supporting novel solutions for optics contamination and target delivery systems in devices used in extreme ultraviolet lithography scanners. Entwicklung und technische Beratung für die Halbleiterindustrie.

  • 9 months, Apr 2015 - Dec 2015

    Senior Design Engineer

    ASML Netherlands B.V.

    Development and Engineering: Produktentwicklung von Kollektorspiegeln für EUV Lichtquellen zur Halbleiterlithografie

  • 6 years and 11 months, May 2008 - Mar 2015

    Principal Research Scientist

    Cymer B.V., NL

    Entwicklung von laser-induzierten EUV Lichtquellen und ihre Integration in EUV Scanner zur Anwendung bei Halbleiterherstellern, Produktentwicklung von EUV Kollektorspiegeln.

  • 5 years and 4 months, Jan 2003 - Apr 2008

    Senior Research Scientist

    Cymer Inc., USA

    R&D: Entwicklung von laserbasierten Hochleistungs-EUV Lichtquellen für die Halbleiter-Lithografie

  • 1 year and 8 months, May 2001 - Dec 2002

    Research Scientist

    Cymer Inc., USA

    R&D: Forschung zur Entwicklung von Gasentladungs-EUV Lichtquellen für die Halbleiterlithografie

  • 1 year, May 2000 - Apr 2001

    Projektleiter EUV

    Tuilaser AG

    R&D: Entwicklung einer entladungsbasierten EUV Plasmalichtquelle

  • 10 months, Jul 1999 - Apr 2000

    Wissenschaftler

    Max-Born Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie

    Laserspektroskopie, Synchrotronstrahlungsnutzung, Photoelektronenspektroskopie

  • 1 year and 2 months, May 1998 - Jun 1999

    Wissenschaftler und Privatdozent

    Universität Bielefeld

    Elektronenstreuung and orientierten Molekülen, Nanostrukturierung, Excimerlaserentwicklung

  • 6 years and 5 months, Dec 1991 - Apr 1998

    Oberassistent, Hochschuldozent

    Universität Bielefeld

    Universitäre Forschung und Lehre: Elektronenstreuung an orientierten Molekülen, spinaufgelöste Photoelektronenspektroskopie mit VUV Lasern und Synchrotronstrahlung, Katalytische Reaktionen orientierter Moleküle auf Oberflächen, Multilayer Beschichtungen

  • 5 months, Aug 1997 - Dec 1997

    Visiting Professor

    University of Texas at Austin

    Research Scientist and Lecturer, Department of Physics

  • 5 years and 1 month, Dec 1986 - Dec 1991

    Hochschulassistent

    Universität Bielefeld

    Universitäre Forschung und Lehre: Spinaufgelöste Photoelektronenspektroskopie an freien Atomen und Molekülen mit Synchrotronstrahlung und VUV Lasern, Entwicklung einer Laser-induzierten EUV Plasmalichtquelle, Adsorption von orientierten Molekülen an Oberflächen

  • 1 year and 7 months, Jun 1985 - Dec 1986

    Wissenschaftlicher Mitarbeiter, Postdoktorand

    Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft

    Forschung: Atom- und molekülphysikalische Experimente mit Synchrotronstrahlung und VUV Lasern, Spinaufgelöste Photoelektronenspektroskopie, Laser-induzierte EUV Plasmalichtquelle

  • 5 months, Jan 1985 - May 1985

    Postdoctoral Research Associate

    University of Texas at Austin

    Laser spectroscopy, molecular reaction kinetics

  • 3 years and 5 months, Aug 1981 - Dec 1984

    Graduate Research Assistant

    University of Texas at Austin

    Two-photon laser spectroscopy of xenon

  • 4 months, Apr 1981 - Jul 1981

    Wissenschaftlicher Mitarbeiter

    Universität Würzburg

    Kinetische Studien der Reaktionsdynamik von elektronenstrahlgepumpten Ar2F Excimermolekülen

Ausbildung von Norbert Böwering

  • 5 years, Dec 1986 - Nov 1991

    Experimentalphysik

    Universität Bielefeld

    Lehrbefugnis für Experimentalphysik, Privatdozent

  • 3 years and 5 months, Aug 1981 - Dec 1984

    Physik

    University of Texas at Austin

    Two-photon laser spectroscopy of xenon

  • 1 year and 11 months, Jul 1979 - May 1981

    Physik

    Bayerische Julius-Maximilians-Universität Würzburg

    Fluoreszenz elektronenstrahlgepumpter Excimere, Excimerlaserkinetik

  • 11 months, Aug 1978 - Jun 1979

    Physik

    State University of New York at Albany

    Depth analysis by Rutherford backscattering and nuclear reaction analysis, accelerator physics

  • 2 years and 10 months, Oct 1975 - Jul 1978

    Physik

    Bayerische Julius-Maximilians-Universität Würzburg

    Studium der Physik

Sprachen

  • German

    C2 (Verhandlungssicher / Muttersprachlich)

  • English

    C1 (Fließend)

  • French

    B1-B2 (Gute Kenntnisse)

  • Spanish

    A1-A2 (Grundkenntnisse)

  • Dutch

    A1-A2 (Grundkenntnisse)

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